SVOC-Ausgasungen aus HEPA-Filtern
Schwerwiegende Kontaminationen für Reinräume, darin prozessierte Teile und Messeinrichtungen
Zusammenfassung
Die Kondensation luftgetragener molekularer Kontaminationen auf empfindlichen Optiken und Komponenten u. a. für Ultrahochvakuum-Anwendungen rückt als Kontaminationsquelle immer mehr in den Fokus. Eine Hauptursache dabei ist das Ausgasen schwerflüchtiger organischer Verbindungen aus verschiedenen im Reinraumbau eingesetzter Materialien und Komponenten. Selbst Spuren dieser kondensierenden organischen Stoffe führen zu massiven Leistungseinbußen. Dieser Beitrag beschreibt in einem Fallbeispiel, wie Ausgasungen aus endständigen Schwebstofffiltern Reinräume, Messeinrichtungen und prozessierte Teile kontaminierten, wie die Ursachenanalyse durchgeführt und die daraus abgeleitete Vermeidungsstrategie umgesetzt wurde.
Korrespondenz:
Markus Keller
Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung, Nobelstraße 12, 70569 Stuttgart
markus.keller@ipa.fraunhofer.de
Zusammenfassung
Die Kondensation luftgetragener molekularer Kontaminationen auf empfindlichen Optiken und Komponenten u. a. für Ultrahochvakuum-Anwendungen rückt als Kontaminationsquelle immer mehr in den Fokus. Eine Hauptursache dabei ist das Ausgasen schwerflüchtiger organischer Verbindungen aus verschiedenen im Reinraumbau eingesetzter Materialien und Komponenten. Selbst Spuren dieser kondensierenden organischen Stoffe führen zu
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