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    Abbildung 1: Aufbau einer Messzelle eines optischen Partikelzählers (Quelle aller Abbildungen: der Autor).

    Partikelmesstechnik in der Reinraumtechnik

    Technik

    1. Grundlagen
    2. Einsatzbereiche des Partikelzählers
    3. Fazit
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    Dr.-Ing. Jürgen Blattner · BSR Ingenieur-Büro, Oberhausen

    Heute sind in der Reinraumtechnik die Partikelzähler ein wichtiges Messmittel, um die Qualität, also den Grad der Kontamination bzw. der Partikelbelastung, nachzuweisen und zu überwachen. Der Partikelzähler liefert im Gegensatz zur Keimzahlbestimmung sofort die gemessenen Partikelzahlen. Zusätzlich wird der Partikelzähler auch bei der Leckfreiheitsprüfung von endständigen Filtern, bei der Ermittlung der Erholzeit und der Bestimmung der „Clean-up-Phase“ eingesetzt.

    1. Grundlagen

    1.1 Messprinzip eines Partikelzählers

    Das Messprinzip eines Partikelzählers beruht auf der Streulichtmethode. Dabei wird (...)