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    Turbomolekularpumpen

    Produkte

    Leybold*) hat seine Turbovac-i/iX-Serie mit den Baugrößen 850 i/iX und 950 i/iX vervollständigt. Neben einer Erweiterung der Produktfamilie hinsichtlich des Saugvermögens zeichnen sich die beiden neuen Turbomolekularpumpen durch lange, störungsfreie Betriebszeiten und niedrigere Betriebskosten aus. Die Pumpen sind in jeder Ausrichtung montierbar. Es kommen EthernetIP-, EtherCAT- und Profinet-Anybus-Optionen hinzu. Sie sind alle als IP54-Versionen verfügbar. Die EthernetIP-, EtherCAT- und Profinet-Module verfügen über einen integrierten Webserver. Über den Webserver können sämtliche Pumpenparameter einfach per PC oder Mobilgerät überblickt und eingestellt werden. Auf der Hochvakuumseite wird der Rotor der Pumpen in einem verschleißfreien Magnetlager geführt, während an der Vorvakuumseite ein lebensdauergeschmiertes Keramikkugellager verbaut ist, das Anwender bei Bedarf vor Ort selber austauschen können.

    Die Pumpen kommen in Bereichen wie etwa Beschichtung, Wärmebehandlung, Analytik, Dünnschichtforschung oder Heliumrückgewinnung zum Einsatz.

    *)Leybold GmbH
    Bonner Str. 498
    50968 Köln
    www.leybold.com
    Originaldokument